射频磁控溅射沉积的ZnO薄膜的光致发光中心与漂移.pdf

1、射频磁控溅射沉积的 薄膜的 光致发光中心与漂移 李伙全宁兆元程珊华江美福 苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室 苏州 型磁控溅射仪制备 薄膜 射 频频 率 为 H 分别为 H H H 时制备的样品标号依次为 纯氩气下 制备的样品标号为 纯氧气下制备的样品标号为 H 流量 第 MN BOPQM PQ6QM 3RS 7 8 7 A 2 7 8 7 A 2 1 0 2 345 06 7 FC7 C 0 6 69 6 60 5 J 7 INO 期 李伙全等 射频磁控溅射沉积的 8 I 000 C D2 9M 5 6 6 977 8 6 N 6 O 977 5 8 00 9 8 56C 6

2、 D400 9 1 7R7 S7 D4 JTI U 002 I7S P7 N PRI TH I7R7 S7 8 7 002 JVPHI RH W X UNP 7T P H7 VM IX N 7HI PT HH7I F H6 XX7I7 H PH R6 N7HI 7P F7I7 N 7 VM S I JIYW XU F I H7 I H67 7T P H P 7 U7 S R NZ 67 T6 H U N 7PR7 R7 N7 P I7N7 HP P6 F H6 H H67 X UNP 6 S7 PHI VU 7 7N PP Z JP W P XU F 7RI7 P7P H67 VU 7 7N

3、PP T7 N S7P H U F S7U7 H6 P 7Z 67 VU 7 7N PP N M R II7PT H H67 7U7RHI HI Q P H XI N H67 V HH N X H67 R RH V H H67 RR7TH I U7S7U R NT P7 X R 7X7RHPZ 012 W X NP T6 H U N 7PR7 R7 7 U VU 7 7N PP 3455 E00 BE44 ED10 0BE 物理学报42 卷 万方数据 射频磁控溅射沉积的ZnO薄膜的光致发光中心与漂移射频磁控溅射沉积的ZnO薄膜的光致发光中心与漂移 作者 李伙全 宁兆元 程珊华 江美福 作者单位

4、 苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室 苏州 215006 刊名 物理学报 英文刊名 ACTA PHYSICA SINICA 年 卷 期 2004 53 3 被引用次数 52次 参考文献 18条 参考文献 18条 1 林碧霞 傅竹西 贾云波 廖桂红 非掺杂ZnO薄膜中紫外与绿色发光中心 期刊论文 物理学报 2001 11 2 林碧霞 傅竹西 贾云波 廖桂红 查看详情 2001 3 Shi C S Fu Z X Guo C X Ye X L Wei Y G Deng J Shi J Y and Zhang G B 查看详情 1999 4 Zhang Y T Du G T Liu D

5、 L Wang X Q Ma Y Wang J Z Yin J Z Yang X T Hou X K and Yang S R 查看详情 2002 5 Chen S J Liu Y C Ma J G Zhao D X Zhi Z Z Lu Y M Zhang J Y Shen D Z and Fan X W 查看详情 2002 6 Xu X L Guo C X Qi Z M Liu H T Xu J Shi C S Chong C Huang W H Zhou Y J and Xu C M 查看详情 2002 7 Fu Z X Lin B X Liao G H Wu Z Q 查看详情 1998

6、 8 Lu Y M Hwang W S Liu W Y Yang J S 查看详情 2001 9 Xue Z Y Zhang D H Wang Q P Wang J H 查看详情 2002 10 Mitra A Tareja P K 查看详情 2001 11 Wu H Z Qiu D J Cai Y J Xu X L and Chen N B 查看详情 2002 12 Kohan A F Ceder G Morgan D 查看详情 2000 13 Lyu S C Zhang Y Ruh H Lee H J Shim H W Suh E K and Lee C J 查看详情 2002 14 Xu

7、 X L Lau S P Chen J S Chen G Y and Tay B K 查看详情 2001 15 Xu X L Lau S P Chen J S Sun Z Tay B K and Chai J W 查看详情 2001 16 杨秀健 施朝淑 许小亮 纳米ZnO和ZnO Eu3 的表面效应及发光特性 期刊论文 物理学报 2002 12 17 孙霞 熊刚 傅竹西 吴自勤 ZnO薄膜原子力显微镜图像的多重分形谱 期刊论文 物理学报 2000 5 18 刘舒曼 刘峰奇 张志华 郭海清 王占国 ZnO Tb纳米晶的协同发光现象 期刊论文 物理学报 2000 11 本文读者也读过 9条 本文

8、读者也读过 9条 1 孙成伟 刘志文 张庆瑜 Sun Cheng Wei Liu Zhi Wen Zhang Qing Yu 退火温度对ZnO薄膜结构和发光特性的影响 期刊论文 物理学报2006 55 1 2 王楠 孔春阳 朱仁江 秦国平 戴特力 南貌 阮海波 Wang Nan Kong Chun Yang Zhu Ren Jiang Qin Guo Ping Dai Te Li Nan Mao Ruan Hai Bo p型ZnO薄膜的制备及特性 期刊论文 物理学报2007 56 10 3 蔡利霞 马书懿 李伟 李锡森 李勇 CAI Li xia MA Shu yi LI Wei LI Xi

9、sen LI Yong 衬底温度对低功率直流 磁控溅射ZnO薄膜特性的影响 期刊论文 功能材料2008 39 8 4 杨光 Santos Paulo V Yang Guang Santos Paulo V 磁控溅射制备ZnO薄膜及其声表面波特性 期刊论文 物理 学报2007 56 6 5 方泽波 龚恒翔 刘雪芹 徐大印 黄春明 王印月 退火对多晶ZnO薄膜结构与发光特性的影响 期刊论文 物理学报 2003 52 7 6 边继明 李效民 高相东 于伟东 衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响研究 期刊论文 无机材料学报 2004 19 3 7 张金星 曹传宝 朱鹤荪 ZHANG Jinxi

10、ng CAO Chuanbao ZHU Hesun ITO上磁控溅射ZnO薄膜及其光电性质 期刊论 文 材料研究学报2007 21 3 8 电致发光 EL 材料简介 期刊论文 液晶与显示2000 15 3 9 孙成伟 刘志文 秦福文 张庆瑜 刘琨 吴世法 Sun Cheng Wei Liu Zhi Wen Qin Fu Wen Zhang Qing Yu Liu Kun Wu Shi Fa 生长温度对磁控溅射ZnO薄膜的结晶特性和光学性能的影响 期刊论文 物理学报2006 55 3 引证文献 52条 引证文献 52条 1 乔海军 王丹军 郭莉 杨继涛 张理平 梁慧光 化学气相沉积法合成梳状纳米

11、ZnO及其发光性能研究 期刊论文 西 北师范大学学报 自然科学版 2009 05 2 黄运华 张跃 白雪冬 贺建 刘娟 张晓梅 ZnO双晶纳米梳 期刊论文 物理学报 2006 03 3 李勇 马书懿 蔡丽霞 李锡森 氧氩比变化对于ZnO薄膜结构及其荧光发射的影响 期刊论文 甘肃科技 2009 20 4 张浴晖 齐宏进 谭金山 溅射沉积ZnO FC多功能有机 无机杂化膜 期刊论文 高分子材料科学与工程 2008 08 5 温晓莉 陈长乐 陈钊 张利学 牛利伟 高国棉 Mn Co掺杂ZnO薄膜结构及发光特性研究 期刊论文 功能材料 2007 04 6 高飞 吴再华 刘晓艳 ZnO Ni 薄膜的制备

12、与发光性能的研究 期刊论文 半导体技术 2008 08 7 朱路平 宋冰冰 叶云开 邴乃慈 杨丹丹 Co掺杂ZnO纳米结构材料的水热制备及性能研究 期刊论文 上海第二工业 大学学报 2012 01 8 王玉恒 马瑾 计峰 余旭浒 张锡健 马洪磊 射频磁控溅射法制备SnO2 Sb薄膜的结构和光致发光性质研究 期刊论 文 物理学报 2005 04 9 高振杰 射频磁控溅射法制备ZnO Eu3 薄膜及其发光研究 学位论文 硕士 2011 10 蒋敏 吴定才 魏琴 刘方舒 吴艳南 张佩佩 纪红萱 徐明 Cu掺杂ZnO薄膜的结构及发光特性 期刊论文 半导体光 电 2010 02 11 汪洪 苏凤莲 宋学

13、平 刘艳美 李爱侠 周圣明 孙兆奇 Al2O3衬底上生长ZnO薄膜的结构和光学特性 期刊论文 人 工晶体学报 2006 02 12 秦秀娟 邵光杰 刘日平 王文魁 ZnO纳米块体材料的制备及其性能的研究 期刊论文 物理学报 2005 05 13 范东华 王相虎 Ge掺杂ZnO薄膜光学特性的研究 期刊论文 材料导报 2010 12 14 李爱侠 毕红 刘艳美 吴明在 Co Cu共掺杂ZnO薄膜的结构及发光特性 期刊论文 发光学报 2008 02 15 朱兴文 李勇强 陆液 李英伟 夏义本 101 取向Li掺杂ZnO薄膜光学性能的研究 期刊论文 无机材料学报 2007 02 16 汤引生 谢谦 Z

14、n1 xCaxO薄膜的结构和光学性质研究 期刊论文 新乡学院学报 自然科学版 2013 02 17 汪小小 夏齐萍 吕建国 宋学萍 孙兆奇 氧氩流量比对ZnO薄膜的微结构及其发光特性的影响 期刊论文 真空科 学与技术学报 2011 04 18 袁艳红 赵华 陈锐 王相虎 林璠 不同波长光激发下氧化锌纳米线的发光特性研究 期刊论文 上海电机学院学报 2009 02 19 张浴晖 齐宏进 射频磁控溅射法制备FC ZnO杂化材料及其基本性质 期刊论文 化工学报 2008 06 20 袁艳红 侯洵 白晋涛 紫外光激发下氧化锌纳米线的发光特性研究 期刊论文 光子学报 2006 03 21 YANG Bi

15、ng chu LIU Xiao yan GAO Fei MA Xue long Photoluminescence properties of ZnO thin films prepared by DC magnetron sputtering 期刊论文 中南工业大学学报 英文版 2008 04 22 陈素果 石念宝 姚合宝 PLD法制备纳米氧化锌薄膜 期刊论文 西北大学学报 自然科学版 2007 03 23 刘丹 李合琴 武大伟 刘涛 双靶反应磁控共溅射制备Al掺杂ZnO薄膜及其光电性能 期刊论文 真空与低温 2011 04 24 金永军 杜云刚 李继军 氧化锌薄膜的生长条件对其结晶及光学特

16、性的影响 期刊论文 内蒙古工业大学学报 自 然科学版 2009 04 25 于鹏 PFCVAD法制备ZnO薄膜结构及应变的研究 学位论文 硕士 2008 26 袁艳红 侯洵 高恒 超声处理对ZnO薄膜光致发光特性的影响 期刊论文 物理学报 2006 01 27 李敏 刘艳美 王维娜 ZnCoO和ZnO纳米棒阵列的结构及发光特性 期刊论文 安徽大学学报 自然科学版 2010 03 28 薛华 陈彦 张国恒 磁控溅射制备ZnO Ag薄膜及其室温光致发光特性 期刊论文 兰州大学学报 自然科学版 2009 02 29 薛华 张国恒 张浩 氧分压对纳米ZnO薄膜光致发光特性的影响 期刊论文 半导体技术

17、2009 02 30 李春 磁过滤阴极弧等离子体法制备类金刚石纳米尖点阵列膜及氧化锌薄膜 学位论文 博士 2008 31 吴小丽 陈长乐 韩立安 罗炳成 高国棉 朱建华 衬底温度对PLD法生长的Mg0 05Zn0 95O薄膜结构和发光特性的影 响 期刊论文 物理学报 2008 06 32 卢相甫 程文娟 马学鸣 石旺舟 热退火对ZnO SiO2复合薄膜的微结构及荧光特性的影响 期刊论文 人工晶体学 报 2007 01 33 马书懿 张小雷 杨付超 黄新丽 马李刚 李发明 赵强 刘静 TiO2缓冲层的退火气氛对ZnO薄膜微结构和光学性能 的影响 期刊论文 西北师范大学学报 自然科学版 2012

18、06 34 张利学 陈长乐 罗炳成 碱金属掺杂ZnO薄膜发光性能研究 期刊论文 人工晶体学报 2009 06 35 徐小丽 马书懿 陈彦 张国恒 孙小菁 魏晋军 磁控溅射制备ZnO薄膜的结构及发光特性研究 期刊论文 光谱学与 光谱分析 2008 09 36 冯春辉 刘清华 赵瑞斌 Ni掺杂ZnO的结构 光学和磁学性质 期刊论文 河北师范大学学报 自然科学版 2009 03 37 刘红霞 周圣明 李抒智 杭寅 徐军 顾书林 张荣 柱状ZnO阵列薄膜的生长及其发光特性 期刊论文 物理学报 2006 03 38 刘晓艳 ZnO薄膜的制备与发光性能的研究 学位论文 硕士 2007 39 付长凤 Cr掺

19、杂ZnO薄膜的制备与光学性质研究 学位论文 硕士 2008 40 王双江 磁控溅射沉积ZnO纳米薄膜及其TFT器件研究 学位论文 硕士 2008 41 卢相甫 ZnO SiO复合薄膜的结构和荧光特性的研究 学位论文 硕士 2007 42 孙成伟 刘志文 秦福文 张庆瑜 刘琨 吴世法 生长温度对磁控溅射ZnO薄膜的结晶特性和光学性能的影响 期刊论 文 物理学报 2006 03 43 范科技 磁控溅射法制备Si掺杂ZnO薄膜及AlO包埋Si纳米晶薄膜 学位论文 硕士 2009 44 徐东然 磁控溅射氧化锌薄膜结构和发光特性的研究 学位论文 硕士 2007 45 张贺攀 PLD方法沉积ZnO薄膜及其

20、光电性能研究 学位论文 硕士 2009 46 陈素果 纳米ZnO薄膜的制备及光学特性的研究 学位论文 硕士 2005 47 赵瑞斌 ZnO基稀磁半导体的光学和磁学性质 学位论文 硕士 2008 48 范科技 磁控溅射法制备Si掺杂ZnO薄膜及AlO包埋Si纳米晶薄膜 学位论文 硕士 2009 49 张浴晖 射频磁控溅射法制备FC ZnO有机 无机杂化材料及其结构与性能研究 学位论文 博士 2008 50 张仁刚 ZnS薄膜的制备及其结构特性的研究 学位论文 博士 2005 51 彭丽萍 In掺杂ZnO薄膜的制备与特性研究 学位论文 博士 2010 52 袁艳红 碳纳米管与ZnO低维材料的光学特性研究 学位论文 博士 2006 引用本文格式 李伙全 宁兆元 程珊华 江美福 射频磁控溅射沉积的ZnO薄膜的光致发光中心与漂移 期刊论文 物 理学报 2004 3